,螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转,每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环,现在以其中一对齿来说明。
阳转子按逆时针方向旋转,阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。
转于端面是排气端面。在这里,阳转子沿顺时针方向旋转,阴转于沿逆时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。
螺杆泵的排气过程,齿间容积与排气孔口连通后,即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小,具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出,